19940914115826.4 С24 Свадковский, И. В. Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергий обрабатывающих ионов 100-2000эв [Текст] : автореф. дис... канд. техн. наук. 05.27.06 / Свадковский И.В.; Минск. радиотехн. ин-т. - Минск : б.и., 1993. - 20с. - Библиогр.: с.19-20. - б.ц.
Кл.слова (ненормированные): Система ионно-лучевая -- процесс технологический -- структура тонкопленочная -- техника электронная -- полупроводники -- проектирование -- поле магнитное -- ускорители -- параметры -- источники ионные -- устройства технологические Экземпляры всего: 1 ХР (1) Свободны: ХР (1) |