556723
   19940914115749.2
   Ш37


    Шевкун, И. М.
    Автоматизация трехмерного моделирования элементов микроэлектронных структур [Текст] : автореф. дис... канд. техн. наук. 06.13.16 / Шевкун И.М.; Белорус. гос. ун-т. - Минск : б.и., 1993. - 18с. - Библиогр.: с.18-19. - б.ц.
УДК

Кл.слова (ненормированные):
структура микроэлектронная -- схема интегральная -- приборы полупроводниковые -- уравнения
Аннотация: Методы и алгоритмы построения универсальной программы трехмепрного численного моделирования элементов интегральных схем, внутренней структуры данных, структуры и методики построения программы, обладающей высокой степенью универсальности.

Экземпляры всего: 1
ХР (1)
Свободны: ХР (1)