19940914115704.2 П16 Панков, В. В. Моделирование ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур [Текст] : автореф. дис... канд. техн. наук. 05.27.06 / Панков В.В.; Минск. радиотехн. ин-т. - Минск : б.и., 1993. - 20с. - Библиогр.: с.19-20. - б.ц.
Кл.слова (ненормированные): Структура тонкопленочная -- моделирование -- технология ионно-лучевая -- электротехника -- полупроводники -- распыление ионно-лучевое -- конденсат вакуумный -- моделирование -- металлы -- химические вещества -- пленка -- индикаторы -- экран -- излучение ионизирующее -- подложка -- цинк -- индий -- кислород -- сера -- физика Аннотация: Закономерности формирования методом ионно-лучевого распыления тонкопленочных структур. Экземпляры всего: 2 ХР (2) Свободны: ХР (2) |