Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 556740 19940914115826.4/С24 Автор(ы) : Свадковский И.В. Заглавие : Разработка высокоэффективных ионно-лучевых систем и технологических процессов формирования тонкопленочных структур с диапазоном энергий обрабатывающих ионов 100-2000эв : Автореф. дис... канд. техн. наук. 05.27.06 Выходные данные : Минск: б.и., 1993 Колич.характеристики :20с Примечания : Библиогр.: с.19-20 Цена : б.ц. УДК : 621.382 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): система ионно-лучевая--процесс технологический--структура тонкопленочная--техника электронная--полупроводники--проектирование--поле магнитное--ускорители--параметры--источники ионные--устройства технологические Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)