Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 556745 19940914115705.2/Х84 Автор(ы) : Хосе Ривера Араика Заглавие : Радиационные дефекты в имплантированных слоях кремния п-типа и их воздействие на диффузию сурьмы и мышьяка : Автореф. дис... канд. физ.-мат. наук. 01.04.10 Выходные данные : Минск: б.и., 1993 Колич.характеристики :14с Примечания : Библиогр.: с.14 Цена : б.ц. УДК : 621.315.592.3.039.341.6 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): физика--полупроводники--диэлектрик--дефекты радиационные--слой имплантированный--кремний--диффузия--сурьма--мышьяк--легирование--имплантация ионная--отжиг изосинхронный--химические вещества--изотопы--разделение Аннотация: Радиационное дефектообразование в слоях кремния, легированных сурьмой и мышьяком. Влияние радиационных дефектов на электрическую активацию и диффузию этих примесей в ионно-имплантированном кремнии. Экземпляры :ХР(1) Свободны : ХР(1)