Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 556743 19940914115704.2/П16 Автор(ы) : Панков В.В. Заглавие : Моделирование ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур : Автореф. дис... канд. техн. наук. 05.27.06 Выходные данные : Минск: б.и., 1993 Колич.характеристики :20с Примечания : Библиогр.: с.19-20 Цена : б.ц. УДК : 621.793.184 + 539.216.2 + 539.216.2 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): структура тонкопленочная--моделирование--технология ионно-лучевая--электротехника--полупроводники--распыление ионно-лучевое--конденсат вакуумный--моделирование--металлы--химические вещества--пленка--индикаторы--экран--излучение ионизирующее--подложка--цинк--индий--кислород--сера--физика Аннотация: Закономерности формирования методом ионно-лучевого распыления тонкопленочных структур. Экземпляры : всего : ХР(2) Свободны : ХР(2)